原裝SIARGO美國矽翔MF5712-G-250-B-A氣體流量計據技術手冊:
MF5712-G-250-B-A氣體質量流量計類別說明
MF5712-G-250氣體質量流量計產品特點簡要說明:
傳感芯片采用熱質量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了流量計的高精度計量
靈敏度高,能夠對極小的始動流量就可以開始計量
在單個芯片上實現了多傳感器集成,使其量程比達到了80:1甚至更高
全量程高穩定性、高精確度和優良的重復性
支持多種氣體的測量,允許客戶對某些特殊氣體進行現場標定
響應速度快;輸出方式靈活,提供LCD現場顯示,也可提供RS485通訊接口由上位機查詢輸出數據
可通過按鍵配置參數,具有超量程報警指示功能
便攜式設計,電池供電和外部供電方式可以任意切換
G螺紋或NPT螺紋連接,易于安裝與使用,也可根據客戶需求定制其他接口
MF5712-G-250-B-A氣體質量流量計工作原理
MF5712系列氣體質量流量計是基于矽翔微機電系統有限公司自主研制的MEMS流量傳感芯片,其原理是利用流動氣體傳熱傳質的依存關系,在其上、下游產生溫度變化而得到氣體的質量流量。該流量計同時實現熱源的產生與溫度的測量。當芯片處于工作狀態時,在傳感器的周邊形成穩定的溫度場分布。一旦一定質量的氣體流過傳感器時,氣體的流動將破壞該.溫度場的分布,形成特定的、取決于該氣體的質量和速度的溫度場分布。微機電系統流量計芯片上的傳感器將測量這一變化并把這- -變化轉換為電信號,由一個專門的電路變送器對此信號進行放大、調理并作線性化處理。由于不同質量的氣體對傳感器的周邊形成穩定的溫度場分布所產生的擾動不同,因而能測量氣體的質量流量或總流量。
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