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三軸氣浮運動臺

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  • 三軸氣浮運動臺

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參考價100000-400000/ 件
具體成交價以合同協議為準
  • 型號

    QFL3D系列
  • 品牌

    其他品牌
  • 廠商性質

    生產商
  • 所在地

    北京市

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更新時間:2025-03-18 17:01:03瀏覽次數:899

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產品簡介

重復定位精度 ±15nm~±100nm 全行程直線度 ±0.1μm
QFL3D系列是一款結構緊湊的三軸氣浮運動臺,用于飛秒激光加工,超精密加工,測試測量,掃描、半導體及光子學對準等行業,由于非接觸式移動,精度高和結構緊湊是行業內的理想選擇。

詳細介紹

產品細節圖

三軸氣浮運動臺

產品特點

  • 三軸直驅氣浮結構

  • 結構緊湊、精度高

  • 根據需求可定制

  • 高柔線纜管理系統


結構特點
QFL3D系列是一款預負載結構的三軸氣浮運動臺,氣浮結構已證明是精密應用中的理想選擇,適用飛秒激光加工、微納制造等應用,具有體積小,精度高和外觀緊湊等特點,無論是定位抖動,還是速度穩定性,QFL3D系列都是良好的解決方案。


定制化

根據用戶的應用,可以選擇單軸,雙軸,三軸等多種結構,如直接在XY軸上增加Z軸,平升Z軸或定制大理石基座、立柱及橫梁上側掛Z軸等。此外可提供激光觸發同步輸出信號。


線纜管理

使用高質量的高柔排線和氣管,線管彎曲半徑產生的擾動力影響可忽略不計,運動中線纜和氣管不影響氣浮運動臺的性能。


潔凈室兼容性

氣浮軸承本質上與潔凈室環境兼容,高質量的無塵線纜管理也符合實驗室環境。



規格指標

三軸氣浮運動臺

三軸氣浮運動臺

三軸氣浮運動臺

三軸氣浮運動臺

三軸氣浮運動臺

注:

以上為單軸精度指標,在潔凈間內測試,溫度20℃±0.5℃(重復定位精度優于±50nm,測量時溫度20℃±0.01℃),濕度40%~60%RH,振動等級VC-F,測試點在負載板上25mm處,測試速度10mm/s,Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法,多軸系統精度測試與負載尺寸及測試點高度有關,環境的變化會導致精度變化,如要求非標準測試,請咨詢我們。

1. 取決于平臺安裝表面的平面度。

2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。

3. 空載條件下指標,MAX速度和加速度取決于負載大小。

4. 為保護氣浮導軌建議加裝壓力保護開關。壓縮空氣必須是清潔的(過濾至0.25μm或更佳,ISO8573-1),無水(壓力露點-20℃,ISO8573-1級別3)及無油(ISO8573-1級別1)。

5. 無特殊項目要求,出廠默認為準。


售后服務

質保期為驗收合格后12個月。

我公司在2小時內響應維護服務,24小時內到達現場維護,為更好的做產品售后服務工作,及時接收用戶反饋的問題。

免費的電話咨詢和服務;

反饋時間不超過2小時;

如果需要到現場服務,質保期外的我公司只收取人員的差旅費(北京市內除外)質保期外的,硬件如果需要更換或修理,只收取硬件的成本;

設備正常運行驗收后,我公司指派專業工程師負責在現場為貴單位提供不受人員限制的產品設備培訓,培訓內容包括:設備正確操作使用知識;識別初級故障及必要的恢復方法;常見故障排除方法。





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