Teledyne API臭氧發生器SCI-552

SCI-552是臭氧輸送系統的控制器，能夠為很多系統部件提供電氣控制界面，包括：臭氧發生器、EV閥、質量流量計、背壓控制器、TAPI452臭氧傳感器、 TAPI 470 溶解臭氧傳感器和水冷卻器。

Teledyne API臭氧發生器SCI-552基于軟硬件特點，提供了很多系統聯鎖功能，它靈活性高，允許用戶通過前面板用戶界面、MODBUS串行接口或各種離散型數字和模擬輸入來控制整個系統。SCI-552能夠支持兩臺臭氧發生器并提供兩條獨立的臭氧輸出渠道。

• RS-232 MODBUS遠程支持
  
• *多控制2臺臭氧發生器Teledyne API臭氧發生器SCI-552
• *多與2臺452和470臭氧測量儀器交互
  
• *多控制4臺質量流量控制器
  
• *多控制2臺背壓控制器
  
• *多控制2個EV閥
  
• *多控制1臺水冷卻器
  
• 系統聯鎖輸入
  
• 遠程系統級別控制和狀態輸入/輸出

• 化學氣相沉積(CVD)Teledyne API臭氧發生器SCI-552
  
• 原子層沉積(ALD)
• 氧化物生長
  
• 表面處理
• 灰化
• 粒子清潔
  
• 光刻膠去除
• 其他

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